MET ONE 3411
A medida que la geometría de la superficie para almacenar cantidades masivas de datos ha disminuido considerablemente, la vigilancia de partículas para fabricantes de microelectrónica se ha vuelto cada vez más importante. Los contadores de partículas en el aire portátiles MET ONE 3411 se han diseñado para cumplir con las exigencias exclusivas de aplicaciones de vigilancia de salas limpias de semiconductores, comparación de procesos y solución de problemas de partículas.
Contador de partículas en el aire portátil para verificación de sala limpia ISO 14464 en entornos ISO 1 y 2.
- Sensibilidad de 0,1 micras (intervalo de 0,1 μm a 1,0 μm)
- Muestreo secuencial con colector opcional
- Ventilador inactivo durante el funcionamiento para minimizar el impacto de las partículas
- Interfaz simplificada para la configuración/replicación de los parámetros de área, ubicación y funcionamiento
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Características
Normas
• Muestreo conforme a la norma ISO 14644-1 Clase 5
• Compatible con ISO 21501-4 para una solución de problemas y una comparación de procesos precisas
Gestión de datos
• Comunicación inalámbrica, Ethernet, en serie y USB
• Salida de datos impresos o sin papel
• Arquitectura de comunicación abierta
Funcionamiento
• Hasta 6 canales de tamaño de partículas (caudal de 2,83 LPM (0,003 m3/min)
• Capacidad de muestreo secuencial
• Tecnología láser de larga duración para mejorar el rendimiento y reducir los costes operativos
Aplicaciones
• Clasificación y vigilancia de salas limpias de semiconductores
• Monitorización ambiental continua
• Solución de problemas de procesos
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